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大空心軸徑中精微

精密中精微速度發(fā)

超高定位精度精密

球面真空平臺(tái)支持

納米級(jí)直接耦合支

【中精微】球面空

【中精微儀器設(shè)備

質(zhì)心臺(tái)中精微用途

氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)真空平臺(tái)

中精微大通光孔徑

氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)中精

數(shù)控真空平臺(tái)氣浮

中精微速度穩(wěn)定性

非機(jī)械接觸速度穩(wěn)

真空平臺(tái)中精微球

中精微數(shù)控超高定

操作簡(jiǎn)單中精微支

數(shù)控中精微大空心

大空心軸徑電主軸

高控納米級(jí)氣浮轉(zhuǎn)