潔凈室正壓控制
第5．2．1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應不小于0．5毫米水柱；潔凈區(qū)與室外的靜壓差，不應小于1．0毫米水柱。
第5．2．2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算： Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）
式中Q一維持潔凈室正壓值所需的正壓風量（立方米／時），
a一根據(jù)圍護結(jié)構氣密性確定的安全系數(shù)，可取l．l－l．2；
q一當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結(jié)構單位長度縫隙的滲漏風量（立方米／時·米）；
L一圍護結(jié)構的縫隙長度（米）。
第5．2．3條圍護結(jié)構單位長度縫隙的滲漏風量可按表5．2．3采用。
圍護結(jié)構單位長度縫隙的滲漏風量表5．2．3
第5．2．4條送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉應聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；系統(tǒng)關閉時，則聯(lián)鎖程序應相反。
第5．2．5條非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風機，并應對新風進行處理。
第四節(jié)空氣凈化處理
第5．4．1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。注：100,000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器。
第5．4．2條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
第5．4．3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風。凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求或?qū)ζ渌ば蛴形：r，則不應利用回風。
第5．4．4條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口滲入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。
第5．4．5條空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應符合下列要求：一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器
二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；
三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端；
四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用；
五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內(nèi)；
六、高效空氣過濾器的安裝方式應簡便可靠，宜于檢漏和更換。
第5．4．6條送風機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
第5．4．7條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側(cè)，并應有防火安全措
