在汽車零件及其它各種機(jī)械零件的測(cè)量中，目前已大量采用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，在電氣及電子零件測(cè)量方面，則大量采用顯微鏡或圖像測(cè)量?jī)x。隨著加工精度的提高，測(cè)量精度的要求也不斷提高。目前，測(cè)量精度達(dá)1μm以內(nèi)的超高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、顯微鏡、圖像測(cè)量機(jī)等已開始普及。其中，初項(xiàng)（首項(xiàng)）誤差為0.35μm的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已投放市場(chǎng)。另外，整個(gè)零件均采用攝像頭（照相機(jī)）或激光進(jìn)行測(cè)量，并可對(duì)尺寸測(cè)量及整體形貌進(jìn)行評(píng)價(jià)的測(cè)量機(jī)也已大量使用。
近期，人們對(duì)大幅度提高測(cè)量精度極為關(guān)注。原來(lái)為0.1mm左右的精度，現(xiàn)在已能達(dá)到10μm甚至幾μm的水平。帶攝像頭的專用測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)已配置帶有在線激光測(cè)頭系統(tǒng)等附屬裝置，使之具有多種測(cè)量功能。另外，推出的能與接觸式測(cè)頭自動(dòng)切換、配備輕而小的圖像測(cè)頭的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，可在一臺(tái)儀器上實(shí)現(xiàn)接觸式和非接觸式的測(cè)量。
如何抑制高速運(yùn)動(dòng)和加減速時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，提高測(cè)量機(jī)的可靠性，也是人們關(guān)注的問(wèn)題。各公司在設(shè)計(jì)產(chǎn)品時(shí)，均盡可能提高測(cè)量機(jī)的剛性和采用高水平的驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)，以減輕測(cè)量過(guò)程中的振動(dòng)。
目前，在測(cè)量?jī)x器制造業(yè)中，各方面均占有很大優(yōu)勢(shì)的三豐公司（Mitutoyo）、德國(guó)卡爾蔡司+東京精密及�？怂箍导瘓F(tuán)（Leitz、Brown&sharpe、DEA、Tesa、Sheffield及其他）形成了三大巨頭鼎立態(tài)勢(shì)。