日本松下電氣與東京大學(xué)增澤隆久教授合作開發(fā)生產(chǎn)GMG-ED82W型超微細(xì)電火花加工機(jī)床后，為解決高密度、大深徑比、復(fù)雜形狀微細(xì)孔、微細(xì)軸、銷、沖頭等的的加工問題，松下電氣生產(chǎn)技術(shù)研究所的正本健、和田紀(jì)彥開發(fā)了先用WEDG加工法加工微細(xì)電極，然后用該微細(xì)電極加工出具有多孔的中間電極，在用中加電極加工除具有多個(gè)微細(xì)軸形狀的工作電極。用這樣的電極可以一次加工出多個(gè)小孔。姑且將其稱為發(fā)反拷貝法微細(xì)電極電火花加工方法，即μEDMN 加工法，其中μ代表微細(xì)，EDM代表電火花加工，n帶便反復(fù)次數(shù)，即反復(fù)多次微細(xì)電火花加工。例如n=1,用WEDG加工法加工簡(jiǎn)單的圓柱微細(xì)電極；n=2，用生產(chǎn)的微細(xì)圓柱電極在薄板上加工多個(gè)微細(xì)孔；n=3，用薄板中間電極在大的圓柱棒或塊狀工件上加工出一體化的具有多個(gè)微細(xì)軸的工作電極，也可作為銷或沖頭等工具；n=4，用上述工作電極進(jìn)行多孔同時(shí)加工。在n>2后，為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定電火花放電加工，在進(jìn)給方向上要對(duì)間隙加上振幅數(shù)μm，頻率為數(shù)+Hz的微振動(dòng)。又如，用此方法在STAVAX不銹鋼上加工了直徑100μm、長(zhǎng)度400μm和直徑50μm、長(zhǎng)度100μm公400個(gè)錐度2度的微細(xì)圓錐柱。
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