氮氣柜是外接氮氣氣源，通過流量計進(jìn)入氮氣控制系統(tǒng)中，然后經(jīng)過多個細(xì)小的出氣孔分散的進(jìn)入氮氣柜箱體內(nèi)部，可以確保氮氣的分布均勻無死角。氮氣柜本身對氮氣的純度無要求，當(dāng)然純度越高的氮氣對電磁閥的壽命是有著延長的作用，如雜質(zhì)過多的話，可能會導(dǎo)致電磁閥提前損壞，而氮氣無法正常進(jìn)入氮氣柜內(nèi)部或無法控制氮氣的自動供應(yīng)與自動切斷。如存儲的是半導(dǎo)體晶圓片Wafer，則推薦選擇99.99%純度以上的高純度氮氣來保護(hù)晶圓，防止其氧化。至于氮氣柜的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)，是需要根據(jù)存儲物料的存儲要求來確定，存儲不同的樣品氮氣柜設(shè)定的濕度值各不一樣，濕度設(shè)定值越低，消耗的氮氣越高。氮氣柜的溫度值不受控制，僅僅顯示當(dāng)前的環(huán)境溫度值。為了防止用戶開啟氮氣柜柜門的時候過高濃度的氮氣對人員帶來的不良影響，可使用開啟箱門時自動切斷氮氣供應(yīng)的功能。
氮氣柜的作用主要是利用柜體內(nèi)部的氮氣，營造出一種惰性氣體的氛圍，防止親氧，親水性的物品在空氣中發(fā)生氧化現(xiàn)象，需要消耗氮氣作為耗材。使用過程中氮氣的進(jìn)氣壓力不宜設(shè)置過大，因為氮氣柜是一種密封性較好的柜體，但其密封性無法與壓力容器相比，當(dāng)柜內(nèi)的正壓過高時，可能會造成氮氣柜泄漏，造成浪費及提高了使用成本�？梢栽诘獨夤艿赖某鰵舛丝诨虻獨鈿馄康某鰵饪诩友b減壓閥，在氣源的出氣壓力也是氮氣柜的進(jìn)氣壓力調(diào)節(jié)為0.2MPA為宜。當(dāng)用戶發(fā)現(xiàn)氮氣保護(hù)柜的氮氣消耗不正常時，可首先檢測柜體密封性，使用泡沫水或細(xì)微線束在門框處進(jìn)行測試，正常按照1436升的氮氣柜，環(huán)境濕度為60%RH，一天開門3-5次，每次10-20秒，一瓶40升的氮氣，約使用時間為4-5天。相比直充氮氣的氮氣保護(hù)柜來說，約節(jié)約80%的氮氣消耗。當(dāng)然氮氣柜還可以結(jié)合防潮箱輔助除濕，更進(jìn)一步的來節(jié)約氮氣的消耗。使用SUS304不銹鋼材質(zhì)的不銹鋼氮氣柜，潔凈等級更高，適合在無塵室內(nèi)部使用，存放各類精密的元器件及Wafer晶圓片。
