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ACP 系列風(fēng)冷多級(jí)羅茨泵
ACP 系列多級(jí)羅茨泵是專為壓力范圍從大氣壓力直到 3 · 10-2?hPa 的無(wú)油無(wú)粒子應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種風(fēng)冷泵是旋片泵的優(yōu)質(zhì)替代品。

G 版本的泵經(jīng)過(guò)特別開(kāi)發(fā)，是專為傳輸少量腐蝕性氣體而設(shè)計(jì)的。建議 ACP 系列的該版本用于傳輸室、工藝監(jiān)視系統(tǒng)以及離子束應(yīng)用。風(fēng)冷 ACP 系列的?CV 版本的水蒸汽容量可達(dá)每小時(shí) 1,000 克。其專為避免泵體內(nèi)的蒸汽冷凝而設(shè)計(jì)。

以標(biāo)準(zhǔn)版本為基礎(chǔ)，已開(kāi)發(fā)出多個(gè)特定版本的 ACP 泵以更好地滿足特定要求，例如：

• 無(wú)氟泵送方案，SH 和 R 版本，
• 抗核輻射，R 版本，
• 高價(jià)值氣體的循環(huán)和回收，CP 版本。

用于工業(yè)應(yīng)用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G
ACP 120 以上萬(wàn)臺(tái)安裝于全世界范圍內(nèi)的半導(dǎo)體流程泵為基礎(chǔ)，在工業(yè)應(yīng)用中也同樣體現(xiàn)出多級(jí)羅茨泵的優(yōu)勢(shì)。水冷泵配有吹掃氣體管路，用于輕微腐蝕性工藝或抽空冷凝介質(zhì)。ACP 120 可與羅茨泵組合成不同的泵站。羅茨泵站 ACG 600 可作為裝飾或工具涂層真空解決方案的完全免潤(rùn)滑抽真空系統(tǒng)的基礎(chǔ)。

緊湊型干式泵：A 100 L 和 A 200 L
緊湊型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是為成本節(jié)約地集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)而開(kāi)發(fā)的。
A 200 L 經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可以滿足抽空裝載互鎖所需嚴(yán)苛的頻繁泵送周期。

技術(shù)參數(shù)：