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真空?(UHV)?光柵，真空光柵包括真空圓光柵和真空直線光柵尺，

UHV產(chǎn)品特征如下：

–?RESOLUTE?UHV是 適合在UHV環(huán)境下使用的值真空式光柵

–?由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

–?殘余氣體分析?(RGA)?經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境

–?120?°C烘焙溫度

–?非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

–?具備工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達1?nm

–?電耗低、發(fā)熱小

–?無氣密孔

–?自適應電路可提供 長期可靠性和低電子細分

誤差?(SDE)（RESOLUTE?UHV為±40?nm，TONiC?UHV為±30?nm，RGH25F?UHV和

RGH20F?UHV為±50?nm)

–?UHV兼容電纜

–?TONiC?UHV光柵具有光學參考零位

–? 直線光柵和圓光柵系列

RESOLUTE?UHV、TONiC?UHV、RGH25F

UHV和RGH20F?UHV讀數(shù)頭

雷尼紹 真空?(UHV)?兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過 設計，用于各種科學、半導體

和其他高級工業(yè)應用場合，真空壓力達10-11?Torr。其基本工作原理與我們的同類標準大氣壓下的產(chǎn)

品相同，但是UHV光柵在設計上消除氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑 而成。產(chǎn)

品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨立的 檢驗站鑒定，包括殘留氣體分析?(RGA)?光譜測試。

該系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F讀數(shù)頭，以及各種直線光柵和圓光

柵，提供 的性能和高可靠性。

RESOLUTE?UHV采用真正意義上的式光柵工作原理，與RESOLUTE系列的其他產(chǎn)品相

同。因此光柵具備小柵距性能，并且安裝公差大，內(nèi)在安全性高。RESOLUTE開啟后立即確定

位置，減少非受控運動，并且有助于執(zhí)行 軸命令，無需返回基準位置或者“開啟并晃

動”。RESOLUTE的分辨率為1?nm，電子細分誤差?(SDE)?為±40?nm，RMS噪音<10?nm，同時也

幫助用戶 提

該系列中的所有增量式讀數(shù)頭都包含動態(tài)信號調(diào)整功能，其中自動增益控制?(AGC)?有助于長

時間內(nèi)獲取 的信號，而自動偏置量控制?(AOC)?則有助于提高信號保真度。AOC和光柵的

低位置噪聲也有助于降低直驅(qū)系統(tǒng)的速度波動，從而在程度上幫助減少真空條件下電機中積

聚的熱量。

通過直線測量標準確保了 ，其中包括自貼式鋼帶柵尺、不銹鋼和ZeroMet柵尺選項。圓

光柵選項包括輕薄小巧的RESR?/?RESM和超 的REXM圓柵， 度 優(yōu)于±1角秒。