日本FCON觸控面板式氣體混合器CUBEGM-X系列 |
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日本FCON觸控面板式氣體混合器 CUBE GM-X 系列 特征 ? ● 觸摸屏式氣體混合器[CUBEGM-X 系列] 是一種單元型,包括質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥和氣體混合器。 |
產(chǎn)品名稱 | |
尺寸 | CUBEGM-X2: W350 × D400 × H280 (mm) * 不包括突出部分 CUBEGM-X3: W430 × D400 × H280 (mm) * 不包括突出部分 CUBEGM-X4: W510 × D400 × H280 (mm) * 突出部分 不包括部分 |
輸入電源 | AC100V |
目前的消費(fèi) | MAX 2.3A * 安裝 4 個(gè)質(zhì)量流量控制器時(shí) |
流量范圍 | 1行:FS10SCCM ~ 20SLM * 但是,混合氣體流量必須在50SLM以下。 |
流量控制 | MFC:C1000 系列或 FCST1000 系列 |
流量設(shè)定/輸出顯示 | 0-5VDC |
入口、出口閥 | 電磁閥 |
外部泄漏 | ≦ 5 × 10?-7?Pa?m?3?/ sec He |
耐壓 | 1MPa |
氣體接觸材料 | SUS316、PTFE、氟橡膠 (FCST1000系列:磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠) |
管道連接 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)和其他配件,請(qǐng)聯(lián)系我們。 |
使用環(huán)境 | 溫度:5 至 50°C 精度保證范圍:15 至 35°C 濕度 30 至 80(無冷凝) |
配件 | AC電纜(2m),使用說明書 |
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