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紫外線和強度能量計——用于高強度晶圓步進器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
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該儀器設(shè)計用于ASML、佳能、尼康和超技術(shù)高強度晶圓步進器。基于微處理器的358型
外線強度和能量計可測量、存儲和調(diào)用9個系列的讀數(shù)。可讀取365、400、420和436 nm
波長的強度、能量和時間(4000 mW/cm2, 999.9 mJ/cm2)。
應(yīng)用
358型非常適合各種需要 測量紫外線能量的行業(yè)，適用于任何需要重復(fù)、可靠紫外線
測量的應(yīng)用。
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特點：
數(shù)字顯示提供可追溯至NIST的清晰測量
測量強度、時間和能量
記錄一系列曝光的偏差 比
探頭波長顯示有助于防止設(shè)置錯誤
簡單的按鈕操作提供可靠的結(jié)果
與許多光刻膠的光譜響應(yīng)相匹配的可拆卸探針
顯示讀數(shù)可以鎖定
前面板提醒提示用戶
堅固的鋁外殼，帶有手柄和探頭袋，便于攜帶
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參數(shù)：
強度范圍(mw/cm2)?40-4000
能量范圍?(mJ/cm2)??0-9999
時間范圍?(seconds)?0-9999
波長選擇?(nm)???365, 400，420, 436
精度?????± 3.0 (WB) ?± 1.5 (NB)
線性() ?2
用途:??高強度步進機?
計算?：平均能量;能量偏差 比,可達9個通道的強度和時間
輸出輸入：???打印，通道選擇，選擇探頭，波長檢查
電力???110/220 VAC, 50/60 Hz,可充電?6v電池?(自動關(guān)閉)
尺寸??12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量???約3.6 kg
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更有357型號可選，區(qū)別在于波段選擇和步進器選擇上的不同。

注：波段只能選擇一個。多選請單獨付費。