| 產(chǎn)品參數(shù) | | 品牌 | 瑞澤 | | 是否支持加工定制 | 是 | | 操作壓強(qiáng) | 0.8MpaPa | | 處理能力 | 0-2000Nm3/h | | 工作壓力 | 0.2-1.6MPa可調(diào)，也可定制15-20MPaMPa | | 規(guī)格 | 1200*1200*1880mm | | 過(guò)濾精度 | 0.01um | | 提取氣體狀態(tài) | 氣態(tài) | | 效果 | 純度≥99.9999 | | 性能 | 優(yōu) | | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 氬氣純化設(shè)備用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護(hù)氣。 | | 重量 | 600kg | | 自動(dòng)化程度 | 全自動(dòng) | | 加工定制 | 是 | | 處理氣量 | 5~2000 Nm3/h(可根據(jù)用戶需要訂做非標(biāo)設(shè)備) | | 原料氣要求 | 液氬或者較好的管道氬均可使用 | | 凈化效能 | 99.9996 | | 露點(diǎn) (H2O) | ≤-80℃ | | 氧含量 | ≤0.5ppm | | 氫含量 | ≤0.1ppm | | 氮含量 | ≤0.1ppm | | 二氧化碳 | ≤0.1ppm | | 烴類 | ≤0.1ppm | | 可售賣地 | 全國(guó) | | 用途 | 氬氣提純 | | 材質(zhì) | 316L | | 型號(hào) | RZ-YA-D | | 
氬氣凈化設(shè)備
設(shè)備特點(diǎn)：
1、凈化劑其特點(diǎn)有吸附深度好，吸收雜質(zhì)氣體量大的特點(diǎn)，純度可達(dá)99.9999以上;
2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法，流速設(shè)計(jì)合理，氣流分布均勻;
3、全BA級(jí)內(nèi)外精拉管管路。采用進(jìn)口卡套式球閥。杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染。
4、雙式結(jié)構(gòu),開機(jī)后一組工作，另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動(dòng)純化裝置工作和再生都自動(dòng)進(jìn)行,故能夠連續(xù)供氣,一臺(tái)能頂單式的兩臺(tái)使用。
5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動(dòng)氬氣純化裝置功能說(shuō)明：
A、具有全自動(dòng)功能,使用操作簡(jiǎn)單，開、停機(jī)只需按兩個(gè)按鈕，不需扭動(dòng)任何閥門，這些工作都由PLC程序自動(dòng)進(jìn)行；這還克服了手動(dòng)和半自動(dòng)機(jī)型因人為操作失誤引起的氣體不純，因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏，實(shí)時(shí)模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示，并隨時(shí)可以實(shí)現(xiàn)各參數(shù)的修正，極大的方便工作人員的操作。
C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀，時(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。
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