Femto光纖飛秒激光器雙波段200μJ超快激光晶圓硅片陶瓷材料加工 |
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Femto 200 系列飛秒激光器是由 Huaray 自主研發(fā)生產(chǎn)的,穩(wěn)定、可靠的飛秒光纖激光器產(chǎn)品,也是國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃專項(xiàng)的研發(fā)成果。激光器采用光、電一體化設(shè)計(jì),脈寬小于 300 fs,單脈沖能量高達(dá) 200 μJ。該產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓加工、陶瓷與聚合物加工、金剛石加工、新能源材料加工、難加工金屬加工、高分子材料加工與處理等領(lǐng)域。 產(chǎn)品特點(diǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 ![]() ![]() |
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