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輝光等效等離子PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-PECVD

	價格：138000 元(人民幣)	產(chǎn)地：安徽合肥市
	最少起訂量：1臺	發(fā)貨地：合肥
	上架時間：2018-05-14 16:30:00	瀏覽量：1462
	安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：其他有限責(zé)任公司
	所屬行業(yè)：電阻爐/馬弗爐	主要客戶：高等院校及科研院所
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:李曉麗 (小姐)	手機(jī):17354094989
電話:	傳真:
郵箱:1085847693@qq.com	地址:安徽省合肥市科學(xué)大道110號

詳細(xì)介紹

細(xì)節(jié)展示

雙層風(fēng)扇散熱裝置

貝意克公司研制的PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。其優(yōu)勢有沉積溫度低，沉積速率快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂等。

產(chǎn)品型號：	BTF-1200C-PECVD
實驗機(jī)理：	PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
技術(shù)參數(shù)：	加熱區(qū)參數(shù) 反應(yīng)腔體尺寸：Φ50，Φ60，Φ80，Φ100 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長度：440mm 恒溫區(qū)長度：200mm（±1℃）工作溫度：1100℃ 最高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能控溫精度：±1℃ 升溫速率：20℃/min 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：3KW
	真空參數(shù) 采用KF25系列波紋管和手動擋板閥；真空度可達(dá)10^-3torr；數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值。
	流量控制參數(shù) 內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量；氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%；一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥；不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。
	射頻電源與匹配器電源：單相50/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開關(guān)：32A空氣開關(guān) 薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃ 射頻頻率：13.56MHz 射頻功率輸出范圍：5~500W
細(xì)節(jié)展示：
外型尺寸：	爐體：940×380×520mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm
凈重：	130Kg
認(rèn)證和專利：	專利號：ZL201320052532.0 （專利產(chǎn)品，防偽必究）

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