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江南水陸兩用挖掘機(jī)壓力傳感器作用詳解
力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器,它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱(chēng),也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類(lèi)甚多、傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示,但它的體積大、笨重、輸出非線(xiàn)性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。
當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí),其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱(chēng)為壓阻式力敏傳感器, |
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