卷對(duì)卷連續(xù)化生長(zhǎng)CVD設(shè)備RTR-III-80 |
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設(shè)備簡(jiǎn)介: ??該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)或者線性材料的連續(xù)的專(zhuān)用設(shè)備,此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐,它由高溫生長(zhǎng)腔體,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔或纖維絲的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn),可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī);L(zhǎng)或者線性材料的連續(xù)生長(zhǎng)。(纖維生長(zhǎng)工藝,配有纖維張力計(jì),可以通過(guò)調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,以便達(dá)到纖維連續(xù)進(jìn)出且受力均勻) ?1.加熱系統(tǒng)
2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
3、低真空機(jī)組
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