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徠卡工業(yè)檢驗(yàn)金相顯微鏡DM3 XL

高效檢驗(yàn) 6"樣品
檢驗(yàn)、過(guò)程控制或缺陷和故障分析全部與速度相關(guān)：任何缺陷都有可能使生產(chǎn)陷入癱瘓；您需要一臺(tái)顯微鏡來(lái)幫助團(tuán)隊(duì)盡快且盡可能準(zhǔn)確地檢測(cè)缺陷。
DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)助您節(jié)省檢驗(yàn)時(shí)間。充分利用獨(dú)特的宏觀物鏡，視場(chǎng)寬敞 30%。DM3 XL為中等預(yù)算用戶提供高端品質(zhì)，因?yàn)槟鷽](méi)有時(shí)間去妥協(xié)。

更多細(xì)節(jié)盡收眼底，工作更高效
看到更多細(xì)節(jié)意味著工作更高效。DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)提供獨(dú)特的物鏡，可快速掃描最大 6" 的組件。放大倍率為 0.7x 的宏觀物鏡能夠即刻采集 35.7 mm 的視場(chǎng)—比可用的掃描物鏡寬敞 30%。通過(guò)常規(guī)掃描物鏡看不見(jiàn)的區(qū)域在宏觀概覽下無(wú)所遁形：晶片邊緣或中心

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對(duì)所有相襯觀察方法使用 LED 照明：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級(jí)下提供真彩色成像。因此，您

始終可以看到相同顏色的樣品，獲得可復(fù)制的結(jié)果。憑借長(zhǎng)達(dá) 35,000 小時(shí)的使用壽命和低能耗，LED 還具有巨大的成本節(jié)省潛能，并優(yōu)化公司的碳排放。

>在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像

>自由調(diào)節(jié)

>沒(méi)有更換燈泡導(dǎo)致的停機(jī)時(shí)間

LED 照明—“恒定”光照

>超亮、高功率 LED 照明

> 4500 K 恒定色溫

>在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像

>使用壽命長(zhǎng) (35k h)，8 小時(shí)/天 = 20 年

>自由調(diào)節(jié)

>無(wú)停機(jī)時(shí)間 (燈泡更換)

>適用于明場(chǎng) (BF)、暗場(chǎng) (DF)、微分干涉相襯 (DIC)、偏振 (POL)

熒光 (FL) 和斜射照明

>不產(chǎn)生熱量

>亮度感知高于 100 W 鹵素?zé)襞?/span>

徠卡高性能物鏡

徠卡工業(yè)檢驗(yàn)金相顯微鏡DM3 XL讓您以實(shí)惠的價(jià)格享受到專業(yè)的光學(xué)特性，

例如斜射照明或深暗場(chǎng)對(duì)比。

>通過(guò)斜射照明檢查側(cè)面、邊緣或碎屑

>使用深暗場(chǎng)物鏡查看最小的顆粒

>符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

斜射照明非常理想地適用于側(cè)面、邊緣或碎屑檢查。它可以幫助您從不同的角度照亮樣品，是簡(jiǎn)單有效的形貌可視化方法—即使是由于抗蝕劑殘留物導(dǎo)致的透明形貌也能得到理想的照明。

深暗場(chǎng)對(duì)比的靈敏度大幅提升—尤其適用于檢測(cè)樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。此外，暗場(chǎng)物鏡的大工作距離還可以保護(hù)珍貴樣品，避免其在檢驗(yàn)中意外受損。當(dāng)然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE 等國(guó)際規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

操作人員控制更簡(jiǎn)單

采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)的顯微鏡改進(jìn)的不只是舒適度—它們?cè)跍p輕肌肉勞損的同時(shí)，還有助于提高生產(chǎn)率。即使經(jīng)過(guò)較長(zhǎng)的工作時(shí)間,DM3 XL 依然支持您的團(tuán)隊(duì)交付優(yōu)結(jié)果。

適用于特殊樣品需求的不同載物臺(tái)插件

無(wú)論您要檢查哪種尺寸和類型的樣品，DM3 XL 均可為您提供不同的載物臺(tái)插件選擇—金屬插件、晶片支座或掩模支座。為了便于找到載物臺(tái)上的樣品，150 mm x 150 mm 載物臺(tái)可幫助用戶進(jìn)行快速的粗略或精準(zhǔn)載物臺(tái)定位。

滿足多種需求的軟件解決方案

選擇專用軟件模塊來(lái)升級(jí)您的 DM3 XL，為您的應(yīng)用提供全程指導(dǎo)。LAS X 軟件可提供高品質(zhì)解決方案，尤其是在需要高樣品通量的環(huán)境下。蒙太奇模塊通過(guò)創(chuàng)建高品質(zhì)擴(kuò)展焦點(diǎn)圖像來(lái)增加通量；多級(jí)模塊可自動(dòng)采集并輕松存儲(chǔ)從拼接圖像創(chuàng)建的 2D 圖像。使用圖像分析模塊，在采集、檢測(cè)和測(cè)量特性及顆粒的過(guò)程中實(shí)現(xiàn)自主引導(dǎo)；并通過(guò)交互式測(cè)量模塊使用豐富的測(cè)量手段。