ff-1600 復(fù)合分子泵主要性能特點(diǎn):
1.高極限真空
獨(dú)特的整體加工轉(zhuǎn)子,可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速,提高了泵的極限真空。
2.大抽速
復(fù)合分子泵是由渦輪級和牽引級復(fù)合而成,從而提高了泵的抽速。
3.高壓縮比
轉(zhuǎn)子獨(dú)特的螺旋槽式牽引級使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。
4低噪音
采用高精度球軸承,動平衡好,對軸承的磨損小,軸承壽命長,整機(jī)振動小,噪音低。
5.清潔無油
分子泵是靠動葉片和定葉片的相對運(yùn)動抽除、拖動、傳輸氣體分子排出,因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。
6.節(jié)能
由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕,因此電機(jī)負(fù)載小,消耗功率小,可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。
ff-1600 復(fù)合分子泵用途:
主機(jī)
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進(jìn)氣口通徑
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dn250mm
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排氣口通徑
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kf40mm
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抽氣速率
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1600l/s
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極限壓強(qiáng)
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5×10-7pa
(金屬密封)
5×10-6pa
(橡膠密封)
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ff-1600
復(fù)合分子泵相關(guān)參數(shù):
ff型復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀;真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
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