化學指標單位:μg/L
序號 | 水質項目 | 一級高純水指標 | 二級高純水指標 |
1 | 電阻率(25℃)MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 電導率,μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8~7.2 | 6.6~7.4 |
4 | 細菌總數(shù),個/mL | <3 | <9 |
5 | 微粒(直徑>0.5μm,粒/mL) | <150 | <300 |
6 | 二氧化硅 | <10 | <20 |
7 | 有機物(以COD計) | <0.3 | <0.5 |
8 | 鈉Na | <0.5 | <2 |
9 | 鐵Fe | <1 | <2 |
10 | 銅Cu | <0.5 | <1 |
11 | 鈣Ca | <1 | <3 |
12 | 鎂Mg | <0.2 | <1 |
13 | 鋅Zn | <0.5 | <1 |
14 | 錳Mn | <0.2 | <0.5 |
說明:①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產(chǎn)品。
、诙壐呒兯m用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導體器件產(chǎn)品。