| 維意真空高低溫真空探針臺(tái) |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
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深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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| 經(jīng)營模式：其他 | 公司類型：否 | |
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是否進(jìn)口否 產(chǎn)地北京 加工定制是 品牌wayesvac 型號(hào)tt-4 展開 維意真空高低溫真空探針臺(tái) 點(diǎn)我去除廣告 一、設(shè)備概述： 高低溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)低溫或者高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測(cè)試結(jié)果誤差。 極低溫測(cè)試: 因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓 上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些 需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵 的運(yùn)轉(zhuǎn)。 高溫?zé)o氧化測(cè)試： 當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì) 越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤 差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵 抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。 二、技術(shù)參數(shù)： 1、探針平臺(tái)： 探針座采用真空室外置結(jié)構(gòu)，通過探針臂與探針實(shí)現(xiàn)同步、線性位移；探針座采用鋁制整體式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、承載大、精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，三維調(diào)節(jié)范圍為x、y、z±20mm，驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)測(cè)微頭，驅(qū)動(dòng)位置為v型導(dǎo)軌+交叉滾珠中心驅(qū)動(dòng)，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定，采用精密研磨絲桿m3*0.5分辨率高，配合做大手輪，***小刻度0.01mm，精度0.001mm，直線度單軸0.002mm，重復(fù)定位精度±2微米，單軸直線度±2微米，固定方式為沉孔螺釘固定。自重1.7kg，負(fù)載5kg。 探針夾具采用同軸探針夾具，接bnc公接頭。阻抗，50歐姆； 接頭，coaxial bnc公口；***小漏電流，10pa；線徑，30awg； 電壓，700v？紤]到在做晶圓測(cè)試時(shí)是在高溫下測(cè)量，所以探針夾具 連接處需采用高純陶瓷連接，這樣既可以耐高溫，也可以減少放氣量， 有利于高真空獲得和數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)性！ 探針臂采用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼光軸，可以有效保證探針的水平準(zhǔn)直 度和變溫環(huán)境下的剛性，減少形變?cè)斐傻牟涣加绊憽?br>探針臂移動(dòng)真空密封裝置，采用壓縮比達(dá)到1:6.5的焊接波紋 管，壓縮壽命優(yōu)于10萬次。保證探針臂行程的同時(shí)減少對(duì)探針座造 成的負(fù)擔(dān)。 2、光學(xué)平臺(tái) 隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無摩擦球頭擺桿和帶 附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自 動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德國fest0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣 源、噪聲低。 應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。如光電測(cè)量、全息成 像、光柵制作等。輕松調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。 臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用icr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼 平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um 平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2 固有頻率1.5 ~2 hz 振幅小于1 um 重復(fù)定位精度±0.10 mm 工作壓力0.2~0.6(mpa) 3、顯微鏡 1、鑒別力高，視場(chǎng)范圍大，景深長。 2、工作距離長至115mm。 3、左右目鏡屈光度可調(diào)正負(fù)5度，能滿足不同視力的操作者觀察。 4、能隨意調(diào)節(jié)手輪的力矩，滿足不同操作者的使用習(xí)慣，更可以 鎖定手輪，方便定倍觀察。 5、本顯微鏡為連續(xù)變倍，變倍比為6.3：1 ，物鏡變倍范圍 0.8x-5x。 6、雙目觀察傾斜45度，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍52-75mm。 7、三目體式顯微鏡，可安裝ccd成像系統(tǒng)。 8、倍率可達(dá)200x。 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)： 產(chǎn)品造型比較新穎 機(jī)械特性優(yōu)越，操作舒適度高。 光學(xué)系統(tǒng)鑒別力達(dá)300線對(duì)以上，符合國際標(biāo)準(zhǔn) 超長的工作距離位于國內(nèi)同行之首 獨(dú)有的3a設(shè)計(jì) 創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì)，產(chǎn)品細(xì)節(jié)考慮全面。 配ccd采用usb連接電腦，分辨率≦2微米，像素≧500萬 3a特性： 密封性-------防塵,防油\防水污染，此種接口密封性設(shè)計(jì)能安全防 塵\防油\防水或其它污染，這就減少了常規(guī)的維護(hù), 從而降低了總的費(fèi)用. 防霉性------使其同樣適用于悶熱或潮濕的環(huán)境，此獨(dú)有的設(shè)計(jì)保證 了顯微鏡在高溫或是潮濕下都能安然無恙 防靜電------防靜電設(shè)計(jì)可以釋放顯微鏡內(nèi)不斷產(chǎn)生的靜電,防止標(biāo) 本被損壞,保證提高產(chǎn)量和降低產(chǎn)品成本 4、高低溫控制系統(tǒng) 控溫系統(tǒng)采用日本島電溫控儀表配置固態(tài)繼電器、熱電偶形成閉 環(huán)pid控溫和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，控溫精準(zhǔn)可達(dá) 到±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃； 加熱器220v供電，溫度600℃，液氮制冷，***低溫度可達(dá) 到-130℃。 5、充氣系統(tǒng) 充氣系統(tǒng)采用采用質(zhì)量流量計(jì)及控制顯示器3路，采用日本原裝 品牌，提供原產(chǎn)地證明，精度1%fs，響應(yīng)時(shí)間優(yōu)于1sec； 測(cè)量氣體：待定，量程：待定，數(shù)量：3路，連接尺寸：f6 雙卡套。 真空截止閥3個(gè)，連接尺寸：f6雙卡套。 f52mm*l200mm混氣罐1個(gè)，接頭4個(gè)，連接尺寸：f6雙卡套。 連接管路采用f6無縫ba級(jí)316材質(zhì)不銹鋼管。 6、真空系統(tǒng) 真空獲得設(shè)備：抽真空機(jī)械泵采用中韓合資型號(hào)trp-36，9l/s 抽速，自帶防返油閥門，kf25接口，kf25排氣口， 配有油霧過濾器。極限真空度優(yōu)于10pa。 真空連接管道：配置kf40手動(dòng)真空擋板閥，波紋管密封，性能 可靠，外觀大氣，手感好；放氣閥配置kf16手動(dòng) 放氣閥，體積小巧，性能可靠；所有真空管道采 用不銹鋼液壓波紋管，具備很好的柔韌度，消除 機(jī)械泵震動(dòng)所帶給探針臺(tái)的影響。 真空測(cè)量：真空測(cè)量采用全金屬kf16電阻規(guī)，配合真空計(jì)實(shí)時(shí)顯 示從大氣壓到0.1pa的真空度，外形美觀，日后維護(hù) 成本低。 7、備品配件 贈(zèng)送全套密封件1套，探針10只，探針臂陶瓷連接件2個(gè)。 三、各部位參數(shù)說明： 部位一 真空腔體 ?直徑為8英寸，高度7英寸的304材質(zhì)真空室 ?上蓋帶4英寸石英觀察窗 ?下法蘭帶固定端，與光學(xué)平臺(tái)連接 ?1個(gè)kf40抽真空排氣口，3個(gè)cf16充氣口，1個(gè)kf16電阻規(guī)接口，1個(gè) kf16放氣口，1個(gè)cf35預(yù)留接口，1個(gè)cf63 bnc真空貫穿接口，1個(gè)cf35 冷卻液接口，4個(gè)cf63探針臺(tái)接口 ?系統(tǒng)極限真空優(yōu)于10pa ?直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺(tái)，平整度5微米 項(xiàng)目二 探針平臺(tái) ?探針平臺(tái)，密位移方向xyz三軸，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定， 采用精密研磨絲桿m3*0.5分辨率高，配合做大手輪，行程：x軸40mm，y 軸40mm，z軸40mm，分辨率3微米，螺距，m3*0.5，重復(fù)定位精度±2微 米，單軸直線度±2微米，固定方式沉孔螺釘固定。 ?探針夾具，同軸探針夾具 漏電精度10pa，接bnc公接口，陶瓷結(jié)構(gòu)。 ?探針臂，采用304不銹鋼光軸，保證水平的準(zhǔn)直度和剛性。 ?探針臂移動(dòng)真空密封裝置，配置可壓縮50mm的焊接波紋管。 項(xiàng)目三 真空系統(tǒng) ?配置機(jī)械泵，抽速9l/s，不返油設(shè)計(jì)，冷態(tài)極限真空度優(yōu)于10pa。 ?配置kf40手動(dòng)擋板閥1個(gè)，kf16手動(dòng)放氣閥1個(gè) ?真空測(cè)量配置薄膜真空計(jì)，安裝1個(gè)全金屬kf16電阻規(guī) 項(xiàng)目四 光學(xué)平臺(tái) ?自動(dòng)平衡精密隔振光學(xué)平臺(tái)配置氣懸浮自動(dòng)平衡支架 項(xiàng)目五 顯微鏡 ?配ccd采用usb連接電腦，分辨率≤2 μm ，像素≥500萬。 項(xiàng)目六 高低溫控制系統(tǒng) ?兩路pid溫度控制，顯示精度1℃，控溫精度±1℃，溫度均勻性±3℃； 高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成； 溫度600℃，***低溫度-130℃。 項(xiàng)目七 充氣系統(tǒng) ?3路質(zhì)量流量計(jì)，配置質(zhì)量流量計(jì)； 3路cf16手動(dòng)充氣針閥。 項(xiàng)目八 備品配件 |
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