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mocvd加熱圈
mocvd加熱圈 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時間:2019-05-06 23:09:59 瀏覽量:119
廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司  
經(jīng)營模式:其他 公司類型:廣東昭信半導(dǎo)體裝備制造有限公司
所屬行業(yè):分立半導(dǎo)體 主要客戶:全國
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詳細介紹

設(shè)備名稱mocvd加熱圈
品牌kete
型號465
用途mocvd加熱系統(tǒng)加熱體
產(chǎn)地湖南
交貨期20天
展開
mocvd加熱圈
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mocvd概述
mocvd(metal organic ch emical vapordeposition,金屬有機物化學(xué)氣相沉積)技術(shù),又稱omvpe、movpe等,是1968年由美國洛克威爾公司提出來的一項制備化合物半導(dǎo)體單薄膜的新技術(shù)。mocvd方法是將稀釋于載氣中的金屬有機化合物與ⅴ族或ⅵ族元素的氫化物在被加熱的外延襯底上進行分解并發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后的生成物沉積到外延襯底上從而形成外延薄膜的一種技術(shù),利用這種技術(shù)可以生長出納米級的高質(zhì)量薄膜,正是由于這個特點使得mocvd技術(shù)廣泛的應(yīng)用到半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)與制造中[1]。這種技術(shù)現(xiàn)在已經(jīng)成為iii-v、ii-vi族化合物半導(dǎo)體高質(zhì)量器件多層結(jié)構(gòu)生長的***靈活、成本***低、效率的技術(shù),近幾十年以半導(dǎo)體技術(shù)的進步為驅(qū)動力的it產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,特別是新型半導(dǎo)體光電器件和微波器件的迅猛發(fā)展,巨大的市場需求以及mocvd技術(shù)的不斷進步,使mocvd成為了需求巨大的半導(dǎo)體制造關(guān)鍵核心設(shè)備,也是光電子行業(yè)中***有發(fā)展前途的專用設(shè)備之一。該設(shè)備集精密機械、半導(dǎo)體材料、真空電子、流體力學(xué)、光學(xué)、化學(xué)、計算機等多學(xué)科為一體,是一種自動化程度高、價格昂貴、技術(shù)集成度高的尖端光電子專用設(shè)備[2]。目前mocvd設(shè)備已廣泛應(yīng)用于gan(氮化鎵)系半導(dǎo)體材料的外延生長和藍色、綠色或紫外發(fā)光二極管芯片、異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(hbt)、高電子遷移率晶體管(hfet)、太陽能電池、場效應(yīng)管(fet)以及光學(xué)探測器等半導(dǎo)體器件的制造與研究中,可見mocvd在半導(dǎo)體行業(yè)中具有著舉足輕重的地位。

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