飛秒激光led晶圓劃片價(jià)格 |
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價(jià)格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
最少起訂量:1 | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
上架時(shí)間:2019-05-06 23:13:09 | 瀏覽量:123 | |
上海微世半導(dǎo)體有限公司
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經(jīng)營模式:其他 | 公司類型:電子電器生產(chǎn)線 | |
所屬行業(yè):分立半導(dǎo)體 | 主要客戶:全國 | |
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聯(lián)系人:李女士 () | 手機(jī):13162093812 |
電話: |
傳真: |
郵箱: | 地址:上海上海奉賢區(qū)西渡鎮(zhèn)沿江路755號(hào) |
加工種類半導(dǎo)體集成電路,包括單雙臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺(tái)面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵, 加工方式來料加工 加工設(shè)備激光設(shè)備 加工設(shè)備數(shù)量500000 生產(chǎn)線數(shù)量100 日加工能力10000 質(zhì)量認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)a 展開 飛秒激光led晶圓劃片價(jià)格 點(diǎn)我去除廣告 飛秒激光全自動(dòng)晶圓劃片機(jī) ![]() 詳情 視頻 下載 應(yīng)用 型號(hào):honor series 6040 晶圓劃片效果圖: ![]() 行業(yè)應(yīng)用: 半導(dǎo)體集成電路,包括單雙臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺(tái)面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,ic晶圓切割劃片。 機(jī)器優(yōu)點(diǎn): 1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭, 聚焦光束直徑小到3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應(yīng),對(duì)芯片電路無損傷。 2、劃片速度高達(dá)500mm/s, 對(duì)于厚度1mm內(nèi)樣品,激光劃線僅需一次即可折斷。 3、ccd視覺預(yù)掃描&自動(dòng)抓靶定位、加工范圍650mm×450mm、xy平臺(tái)拼接精度≤±3μm 4、無錐度切割、***小崩邊3μm, 邊緣光滑。 5、支持多種視覺定位特征,如十字、實(shí)心圓、空心圓、l型直角邊、影像特征點(diǎn)等。 6、8年激光微細(xì)加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計(jì)技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、2萬小時(shí)無耗材。 7、機(jī)械手全自動(dòng)上下料系統(tǒng),節(jié)省人力成本。 皮秒激光劃片原理(透明材料內(nèi)聚焦爆裂切割): 通過貝塞爾或doe光學(xué)系統(tǒng),把高斯激光光束壓縮到衍射極限,在100-200khz高重復(fù)頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下,聚焦光斑直徑小至3μm,具有非常高的峰值功率密度,其在透明材料內(nèi)部聚焦時(shí),瞬間氣化該區(qū)域材料從而產(chǎn)生一個(gè)氣化帶,并向上下兩表面擴(kuò)散形成非線性裂紋,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍(lán)寶石和半導(dǎo)體硅片(紅外輻射是能夠透射半導(dǎo)體硅材料的)都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。 技術(shù)規(guī)格參數(shù) 序號(hào) 項(xiàng)目 技術(shù)參數(shù) 光學(xué)單元 1 激光器類型 1064nm 10ps 200khz 2 冷卻方式 恒溫水冷 3 激光功率 50w 4 光束質(zhì)量 m?<1.3<> 5 聚焦方式&加工頭數(shù) 單點(diǎn)聚焦鏡、單頭 6 ***小聚焦光斑直徑 ф3μm 激光加工性能 7 加工速度 100~1000mm/s可調(diào) 8 ***小崩邊 3μm 9 加工材料厚度 1mm 10 加工尺寸&精度 12inches,±5μm 機(jī)械單元 11 機(jī)床結(jié)構(gòu) 龍門式 12 機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸數(shù)&種類 ***多8軸, x,y, z, &θ軸 13 平臺(tái)行程&速度 650mm×450mm 1000mm/s 14 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)精度 ≤±1μm 15 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度 ≤±3μm 軟件控制單元 16 激光加工&平臺(tái)控制 strongsoft, strongcut 17 加工文件導(dǎo)入格式 dxf, plt, dwg, gebar 18 ccd視覺定位軟件 aisys vision 19 ccd視覺定位精度 ≤±3μm 電器單元 20 plc控制器 panasonic 21 真空系統(tǒng) 真空泵 22 除塵&集塵系統(tǒng) 專業(yè)粉塵過濾集成凈化機(jī) 自動(dòng)化單元 23 自動(dòng)上下料系統(tǒng) xz軸+可移動(dòng)上下料平臺(tái) 安裝環(huán)境 24 整機(jī)供電&穩(wěn)壓器功率 220v380v,6kw 25 壓縮空氣壓強(qiáng) ≥0.6mpa 26 無塵室等級(jí) 10000 27 地面承重 2t/m? 28 保護(hù)氮?dú)?br>高純氮 事業(yè)部負(fù)責(zé)人: 葉先生15989909231 e-mail:yf@stronglaser.com |
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