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飛秒激光led晶圓劃片價(jià)格
飛秒激光led晶圓劃片價(jià)格 價(jià)格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
最少起訂量:1 發(fā)貨地:本地至全國
上架時(shí)間:2019-05-06 23:13:09 瀏覽量:123
上海微世半導(dǎo)體有限公司  
經(jīng)營模式:其他 公司類型:電子電器生產(chǎn)線
所屬行業(yè):分立半導(dǎo)體 主要客戶:全國
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:李女士 () 手機(jī):13162093812
電話: 傳真:
郵箱: 地址:上海上海奉賢區(qū)西渡鎮(zhèn)沿江路755號(hào)

詳細(xì)介紹

加工種類半導(dǎo)體集成電路,包括單雙臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺(tái)面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,
加工方式來料加工
加工設(shè)備激光設(shè)備
加工設(shè)備數(shù)量500000
生產(chǎn)線數(shù)量100
日加工能力10000
質(zhì)量認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)a
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飛秒激光led晶圓劃片價(jià)格
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飛秒激光全自動(dòng)晶圓劃片機(jī)

詳情
視頻
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應(yīng)用
型號(hào):honor series 6040
晶圓劃片效果圖:

行業(yè)應(yīng)用:
半導(dǎo)體集成電路,包括單雙臺(tái)面玻璃鈍化二極管晶圓切割劃片,單雙臺(tái)面可控硅晶圓切割劃片,砷化鎵,氮化鎵,ic晶圓切割劃片。
機(jī)器優(yōu)點(diǎn):
1、采用皮秒激光器、定制聚焦頭, 聚焦光束直徑小到3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應(yīng),對(duì)芯片電路無損傷。
2、劃片速度高達(dá)500mm/s, 對(duì)于厚度1mm內(nèi)樣品,激光劃線僅需一次即可折斷。
3、ccd視覺預(yù)掃描&自動(dòng)抓靶定位、加工范圍650mm×450mm、xy平臺(tái)拼接精度≤±3μm
4、無錐度切割、***小崩邊3μm, 邊緣光滑。
5、支持多種視覺定位特征,如十字、實(shí)心圓、空心圓、l型直角邊、影像特征點(diǎn)等。
6、8年激光微細(xì)加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計(jì)技術(shù)積淀、性能穩(wěn)定、2萬小時(shí)無耗材。
7、機(jī)械手全自動(dòng)上下料系統(tǒng),節(jié)省人力成本。
皮秒激光劃片原理(透明材料內(nèi)聚焦爆裂切割):
通過貝塞爾或doe光學(xué)系統(tǒng),把高斯激光光束壓縮到衍射極限,在100-200khz高重復(fù)頻率、10ps極短脈寬的激光束作用下,聚焦光斑直徑小至3μm,具有非常高的峰值功率密度,其在透明材料內(nèi)部聚焦時(shí),瞬間氣化該區(qū)域材料從而產(chǎn)生一個(gè)氣化帶,并向上下兩表面擴(kuò)散形成非線性裂紋,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的切割分離。常見的透明材料包括玻璃、藍(lán)寶石和半導(dǎo)體硅片(紅外輻射是能夠透射半導(dǎo)體硅材料的)都是適宜用皮秒&飛秒激光劃片加工的。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)
序號(hào)
項(xiàng)目
技術(shù)參數(shù)
光學(xué)單元
1
激光器類型
1064nm 10ps 200khz
2
冷卻方式
恒溫水冷
3
激光功率
50w
4
光束質(zhì)量
m?<1.3<>
5
聚焦方式&加工頭數(shù)
單點(diǎn)聚焦鏡、單頭
6
***小聚焦光斑直徑
ф3μm
激光加工性能
7
加工速度
100~1000mm/s可調(diào)
8
***小崩邊
3μm
9
加工材料厚度
1mm
10
加工尺寸&精度
12inches,±5μm
機(jī)械單元
11
機(jī)床結(jié)構(gòu)
龍門式
12
機(jī)床運(yùn)動(dòng)軸數(shù)&種類
***多8軸, x,y, z, &θ軸
13
平臺(tái)行程&速度
650mm×450mm
1000mm/s
14
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)重復(fù)精度
≤±1μm
15
運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度
≤±3μm
軟件控制單元
16
激光加工&平臺(tái)控制
strongsoft, strongcut
17
加工文件導(dǎo)入格式
dxf, plt, dwg, gebar
18
ccd視覺定位軟件
aisys vision
19
ccd視覺定位精度
≤±3μm
電器單元
20
plc控制器
panasonic
21
真空系統(tǒng)
真空泵
22
除塵&集塵系統(tǒng)
專業(yè)粉塵過濾集成凈化機(jī)
自動(dòng)化單元
23
自動(dòng)上下料系統(tǒng)
xz軸+可移動(dòng)上下料平臺(tái)
安裝環(huán)境
24
整機(jī)供電&穩(wěn)壓器功率
220v380v,6kw
25
壓縮空氣壓強(qiáng)
≥0.6mpa
26
無塵室等級(jí)
10000
27
地面承重
2t/m?
28
保護(hù)氮?dú)?br>高純氮
事業(yè)部負(fù)責(zé)人:
葉先生15989909231
e-mail:yf@stronglaser.com

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