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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品規(guī)格

一、產(chǎn)品特點及用途

     1.產(chǎn)品特點

       該設(shè)備是一種***工業(yè)級干燥設(shè)備，采用長軸***大功率軸流風機，不銹鋼渦輪扇葉，結(jié)合***設(shè)計風道，智能PID溫控器結(jié)合SSR固態(tài)繼電器控制高效不

       銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫熱風，對箱體內(nèi)部進行加熱，確保烘箱內(nèi)部達到理想的溫度環(huán)境。

     2. 產(chǎn)品用途

       產(chǎn)品***應用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

二、產(chǎn)品詳細參數(shù);

1.箱體結(jié)構(gòu)

     1.1.內(nèi)部材質(zhì)：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE。

     1.2.外部材質(zhì)：外部采用1.2mm厚***冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑，耐刮傷，造型美觀。

     1.3.保溫材質(zhì)：采用100K高級保溫棉，六面保溫斷熱，保溫厚度為80mm-120mm，保溫性能好。

     1.4. 箱門結(jié)構(gòu)：箱門于箱體結(jié)合處采用***硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保***。

     1.5. 載物層架：可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距，空間利用率高。

2. 溫度控制系統(tǒng)：采用日本三菱PLC+7寸彩色觸摸屏人機交互界面，定值/程序（程控100段）兩種控制模式，帶傳感器斷線報警功能，帶超溫警報保護功能，確

        保產(chǎn)品運行安全。

3. 控溫方式

     3.1.訊號來源：采日制進口CA感應棒±0.5%。

     3.2.輸出被控組件：SSR固態(tài)無節(jié)點輸出，確保加熱功率***。

4. 箱內(nèi)熱風循環(huán)系統(tǒng)

     4.1. 送風方式：箱內(nèi)采用單向水平運風，兩側(cè)風道內(nèi)強壓送風。

     4.2. 風道結(jié)構(gòu)：風道兩側(cè)采用高密度沖孔風板，***控制導流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。

     4.3. 送風裝置：采用大功率三相異步***型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經(jīng)水平糾正處理，確保運風平穩(wěn) ，噪聲≤65dB。

     4.4. 送風裝置安全保護系統(tǒng)：帶超溫過載過流保護功能，確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

     4.5電加熱系統(tǒng)：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器，潔凈不產(chǎn)塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）

5.氧含量控制系統(tǒng)

    5.1氮氣排氧控制系統(tǒng)采用雙路氮氣導入回路，各向箱內(nèi)提供100L/min + 200L/min的氮氣，每路配套進口電磁閥，雙流量自動切換，在箱內(nèi)達到無氧環(huán)境

       后，自動切換至低流量氮氣，大大節(jié)省氮氣消耗量，也可根據(jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

    5.2 排氧時間≤30 min，帶***氧含量控制儀，氧化鋯氧含量傳感器，***自吸泵一套，可實時檢測氧含量并顯示實際數(shù)值，配備氧含量超標報警功能。

6.整機安全保護系統(tǒng)

    6.1. 采用三重超溫保護系統(tǒng)，確保箱體在運行過程中的整體安全性能（詳見技術(shù)參數(shù)）。

    6.2. 箱體內(nèi)部電器保護系統(tǒng)（確保箱體內(nèi)部電器運行平穩(wěn)，***）：

    6.2.1.超溫防止器（獨立限溫，超溫斷電）；

    6.2.2.相序保護（欠壓欠相保護）；

    6.2.3.馬達過電流保護；

    6.2.4.控制線路保險絲；

    6.2.5.電熱過電流保護；

    6.2.6.無熔絲開關(guān)。