產(chǎn)品參數(shù) |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼表面處理 |
供電電源 | AC220V |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵) |
電源功率 | 0-500W可調(diào) |
頻率 | 13.56MHz(偏移量小于0.2KHz)頻率偏移量 |
特性阻抗 | 50歐姆,自動(dòng)匹配 |
真空度 | 1pa-30Pa |
氣體路數(shù) | 雙路氣體輸入 |
氣體流量 | 浮子流量計(jì)0-160ml |
過(guò)程控制 | PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式 |
清洗時(shí)間 | 1-99999秒鐘可調(diào) |
功率大小 | 10-100可調(diào) |
內(nèi)腔尺寸 | L×W×H? 370×320×130mm?(15L容量) |
外形尺寸 | 650長(zhǎng)x600寬x高750mm(臺(tái)式) |
重量 | 95Kg |
真空泵 | 飛越泵VRD-16 (抽速4.4L/S)含油霧過(guò)濾器或排煙管 |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
負(fù)壓調(diào)節(jié) | 極限真空調(diào)節(jié)閥 |
可售賣(mài)地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | |