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100-30萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間工程裝修方案設(shè)計(jì)、無(wú)塵車間工程裝修規(guī)劃、潔凈車間工程裝修方案設(shè)計(jì)、無(wú)菌車間工程裝修規(guī)劃、潔凈廠房工程裝修方案設(shè)計(jì) 電子工業(yè)潔凈室的設(shè)計(jì) 電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn): 電子工業(yè)潔凈室的特點(diǎn)一是大,二是多變。幾千平方米、上萬(wàn)平方米的面積并不少見(jiàn)。電子工業(yè)的技術(shù)更新快,工藝變了,平面布局就要跟著變,因此平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。具體說(shuō),有以下一些獨(dú)特之處應(yīng)加注意。 (1)平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。 (2) 主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。 (3)大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。 (4)應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。 (5)電子工業(yè)潔凈室按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì)。 (6)特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與潔凈室(區(qū))分開(kāi),該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的,氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M,儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M。 (7)電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。 (8)電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì),當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí),應(yīng)設(shè)旁門,當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間,也可設(shè)遂道式吹淋室。 (9)對(duì)于高級(jí)別潔凈室,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。 (10)電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。 (11)電子工業(yè)潔凈室友有對(duì)防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源。 (12)電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外,對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。
電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 批準(zhǔn)部門 中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 目的: 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中,做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量,并符合勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求,制定本規(guī)范。 適用范圍: 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。
電子制造業(yè)廠潔凈室廠房特點(diǎn): ●向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量:
電子工業(yè)潔凈室凈化原理 新鮮空氣→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌 等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。 電子工業(yè)潔凈室凈化參數(shù) 換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa 平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。 溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。 噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。 溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。 噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300Lx
凈化工程中空氣凈化處理方案
●凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初、中、高--效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞--高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。
●空氣過(guò)濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合:初效空氣過(guò)濾器不應(yīng)選用浸油式過(guò)濾器;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過(guò)濾器或亞高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過(guò)濾的安裝方式應(yīng)簡(jiǎn)便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞--高效、高--效空氣過(guò)濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的高效空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。
●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí),應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無(wú)塵室或凈化車間面積較大時(shí),位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí),應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。
●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。
●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過(guò)新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。
●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過(guò)程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r(shí),則不應(yīng)用回風(fēng)。
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