岡本研磨機(jī)代理_GNX200BP采用機(jī)械臂傳送硅片 |
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價(jià)格: 元(人民幣) | 產(chǎn)地:本地 |
最少起訂量:1臺(tái) | 發(fā)貨地:本地至全國 | |
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上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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經(jīng)營模式: | 公司類型:其他有限責(zé)任公司 | |
所屬行業(yè):專用儀器 | 主要客戶: | |
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岡本研磨機(jī)代理_GNX200BP采用機(jī)械臂傳送硅片 岡本研磨機(jī)代理_GNX200BP采用兩點(diǎn)式實(shí)時(shí)測(cè)厚儀測(cè)量主軸1和主軸2下的硅片厚度,采用3點(diǎn)測(cè)控主軸角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后,硅片即會(huì)被自動(dòng)傳送的拋光腔,經(jīng)過拋光工序,去除硅片表面損傷,提高晶圓強(qiáng)度,可以加工50μm的晶圓。 GNX200BP_岡本研磨機(jī)代理規(guī)格: 支持wafer尺寸 8英寸 主軸形式 空氣主軸,高3600rpm 朱軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率 2.2kW/4kW 磨輪直徑 250mm 工作臺(tái)數(shù)量 3個(gè)工作臺(tái) 工作臺(tái)形式 機(jī)械軸(標(biāo)配)承或空氣軸承(選配) 工作臺(tái)轉(zhuǎn)速 1-600rpm 測(cè)厚機(jī)構(gòu) 2點(diǎn)接觸式測(cè)厚機(jī)構(gòu) 測(cè)厚精度 1um 測(cè)厚范圍 0-1.2mm 料盒數(shù)量 每個(gè)工作單元(減薄&拋光)各2個(gè)料盒 拋光機(jī)構(gòu)功率 3kW 交流伺服電機(jī)(0-460rpm) 拋光波速 100-8000mm/min 拋光壓力 50-999g/cm2 拋光磨輪尺寸 200mm 拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速 50-200rpm 真空盤材質(zhì) 氧化鋁邊框+陶瓷氣孔盤 自潔方式 水沖+刷洗 了解更多:http://www.hapoin.com/Wafer_Grinding/gnx200bp.htm 岡本研磨機(jī)代理_GNX200BP相關(guān)產(chǎn)品: 衡鵬供應(yīng) 岡本研磨機(jī)/岡本研磨機(jī)代理/岡本晶圓研磨/okamoto減薄機(jī)/okamoto 減薄機(jī)/okamoto晶圓減薄機(jī)/okamoto 晶圓減薄機(jī)/okamoto研磨機(jī)/okamoto 研磨機(jī)/okamoto晶圓研磨/okamoto晶圓研磨機(jī)/okamoto代理商/okamoto全自動(dòng)研磨機(jī)/okamoto全自動(dòng)減薄機(jī) GNX200B/GNX300B/GNX200BH 碳化硅晶圓減薄機(jī)/氮化鎵晶圓減薄機(jī)/砷化鎵晶圓減薄機(jī)/SiC碳化硅晶圓減薄機(jī)/GaN氮化鎵晶圓減薄機(jī)/GaAs砷化鎵晶圓減薄機(jī)/碳化硅晶圓研磨機(jī)/氮化鎵晶圓研磨機(jī)/砷化鎵晶圓研磨機(jī)/SiC碳化硅晶圓研磨機(jī)/GaN氮化鎵晶圓研磨機(jī)/GaAs砷化鎵晶圓研磨機(jī) GNX200BH |
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