| 晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2021-11-17 10:46:19 | 瀏覽量：158 | |
上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手 晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手特點(diǎn)： 真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系列 雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運(yùn)4kg以下的托盤(pán) 相比LVHR系列機(jī)械手臂具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì) 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置 真空密封：磁流體密封裝置和波紋管 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級(jí)過(guò)濾器 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供手指 3軸晶圓搬送機(jī)械臂基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空 手臂 單臂 到達(dá)距離 640mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) 升降軸MAX行程 60mm 可搬運(yùn)質(zhì)量 10kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手 |
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