| 5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手_水平多關(guān)節(jié)型 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
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| 上架時(shí)間：2021-11-17 10:48:10 | 瀏覽量：85 | |
上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手_水平多關(guān)節(jié)型 5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手_水平多關(guān)節(jié)型特點(diǎn)： 可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列 單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能 適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm 機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)） 或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)） 雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動(dòng)作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī) 通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化 能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達(dá)距離 553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) 升降軸MAX行程 300mm / 400mm / 500mm 可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 晶圓搬送機(jī)械臂_真空3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手 防水式4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂 |
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