| 【晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂】帶有防水結(jié)構(gòu),能快速搬運(yùn)晶圓 |
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上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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【晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂】帶有防水結(jié)構(gòu),能快速搬運(yùn)晶圓 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SWCR3000系列 在保護(hù)等級(jí)IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性 手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈 零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條 Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相步進(jìn)電機(jī) S曲線加減速控制方式能夠高速，搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式 可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供手指 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達(dá)距離 312mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) 升降軸MAX行程 200mm / 300mm 可搬運(yùn)質(zhì)量 3kg以下 (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 防水式/真空3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂 防水式/水平多關(guān)節(jié)型4晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手 |
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