| 有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化_3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2021-11-30 15:32:11 | 瀏覽量：37 | |
上海衡鵬實(shí)業(yè)有限公司
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有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化_3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂（小徑晶圓用）特點(diǎn)： 超潔凈無(wú)塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SSCR3090S系列 適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸， 有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)：90mm 同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒(méi)有Z軸模塊的機(jī)械手臂 全軸使用2相步進(jìn)電機(jī) 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指 了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm 3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂（小徑晶圓用）相關(guān)產(chǎn)品： 衡鵬供應(yīng) 防水式/真空3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂 帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的/防水式/水平多關(guān)節(jié)型4晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂 水平多關(guān)節(jié)型/真空5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手 |
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