| 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂適用于半導體，可晶圓搬運 |
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價格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
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| 上架時間：2022-05-18 13:12:59 | 瀏覽量：36 | |
上海衡鵬實業(yè)有限公司
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3軸圓柱坐標潔凈機械手臂適用于半導體，可晶圓搬運 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： 超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列 適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運 全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢 機械手臂標準臂長:160mm, 200mm 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)： 使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 手臂 單臂 到達距離 400mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離) 升降軸行程 300mm / 400mm / 500mm 可搬運質(zhì)量 4kg (手臂第3關節(jié)處基準) 如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們衡鵬 http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 3軸圓柱坐標潔凈機械手臂相關產(chǎn)品： 衡鵬供應 4軸圓柱坐標潔凈機械手臂/5軸真空水平多關節(jié)型潔凈機械手臂 |
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