Edwards愛(ài)德華STP-XA4503CV磁懸浮分子泵維修中心 |
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Edwards STP-XA4503C英國(guó)愛(ài)德華磁懸浮分子泵維修,Edwards STP-XA4503C愛(ài)德華磁懸浮分子泵進(jìn)氣法蘭口VF300/ISO320F/VG350,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到3800-4300 l/s,轉(zhuǎn)速為24000 rpm, 極限壓力10-7Pa / 10-9mbar,對(duì)應(yīng)的控制器為:Edwards SCU-1600。
STP-XA4503C 愛(ài)德華磁懸浮渦輪分子泵此泵基于新的設(shè)計(jì),提供功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 STP-XA4503C 愛(ài)德華磁懸浮渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對(duì)氣體都具有更高的吞吐量。
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