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寒武紀技術系列真空等離子處理設備為單機式等離子表面處理設備，具有基材表面活化、去膠、清洗等效果，常用于貼附、粘膠、印刷、絲印、焊接等工序前預處理，主要應用領域有半導體、LED、汽車制造、3C電子、電子線路板、生物醫(yī)療等。

如下圖為設備外形圖：

 真空等離子清洗機原理：在密封腔室中，設置兩個電極形成電磁場（電容耦合放電），用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空環(huán)境，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離越來越長，受磁場作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場空間內(nèi)運動，并轟擊被處理產(chǎn)品表面，伴隨一定的粒子件的結合和分解，從而達到產(chǎn)品表面處理、清洗、刻蝕等效果。

設備主要參數(shù):

設備功能

本設備為等離子表面處理設備，專注于各類產(chǎn)品基材表面的清潔、活化及表面張力的提升。設備具有完善的真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及人機界面、進氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生系統(tǒng)、高真空密封腔室、鈑金框架等，可以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的等離子體發(fā)生，精準控制各類特種氣體進量，進而實現(xiàn)多種活性基團、粒子等對基材表面的精密處理。

設備一般運行流程如下：真空等離子處理設備主要包括等離子發(fā)生器、真空泵、真空腔體，輸送管路等。在等離子體處理時，首先利用真空泵將真空腔體內(nèi)的空氣抽至設定的工作真空度，然后通過輸送管路將工作氣體輸入正空腔體內(nèi)部，當氣體含量達到設定要求后等離子發(fā)生器啟動，通過真空腔體內(nèi)部的上下正負電極之間放電將工作氣體電離從而產(chǎn)生Plasma，然后對樣品表面進行處理，來達到改變表面活性和清潔等目的。