等離子清洗機(jī)江蘇寒武紀(jì)技術(shù)藍(lán)膜電池封裝 |
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寒武紀(jì)技術(shù)系列真空等離子處理設(shè)備為單機(jī)式等離子表面處理設(shè)備,具有基材表面活化、去膠、清洗等效果,常用于貼附、粘膠、印刷、絲印、焊接等工序前預(yù)處理,主要應(yīng)用領(lǐng)域有半導(dǎo)體、LED、汽車制造、3C電子、電子線路板、生物醫(yī)療等。 如下圖為設(shè)備外形圖: 真空等離子清洗機(jī)原理:在密封腔室中,設(shè)置兩個電極形成電磁場(電容耦合放電),用真空泵實現(xiàn)一定程度的真空環(huán)境,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動距離越來越長,受磁場作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場空間內(nèi)運(yùn)動,并轟擊被處理產(chǎn)品表面,伴隨一定的粒子件的結(jié)合和分解,從而達(dá)到產(chǎn)品表面處理、清洗、刻蝕等效果。
設(shè)備主要參數(shù):
設(shè)備功能本設(shè)備為等離子表面處理設(shè)備,專注于各類產(chǎn)品基材表面的清潔、活化及表面張力的提升。設(shè)備具有完善的真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及人機(jī)界面、進(jìn)氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生系統(tǒng)、高真空密封腔室、鈑金框架等,可以實現(xiàn)高真空環(huán)境下的等離子體發(fā)生,精準(zhǔn)控制各類特種氣體進(jìn)量,進(jìn)而實現(xiàn)多種活性基團(tuán)、粒子等對基材表面的精密處理。 設(shè)備一般運(yùn)行流程如下:真空等離子處理設(shè)備主要包括等離子發(fā)生器、真空泵、真空腔體,輸送管路等。在等離子體處理時,首先利用真空泵將真空腔體內(nèi)的空氣抽至設(shè)定的工作真空度,然后通過輸送管路將工作氣體輸入正空腔體內(nèi)部,當(dāng)氣體含量達(dá)到設(shè)定要求后等離子發(fā)生器啟動,通過真空腔體內(nèi)部的上下正負(fù)電極之間放電將工作氣體電離從而產(chǎn)生Plasma,然后對樣品表面進(jìn)行處理,來達(dá)到改變表面活性和清潔等目的。 |
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