| 半導(dǎo)體氣浮臺(tái)PFA涂層加工，CMP研磨盤防粘，耐腐蝕,哈拉h(huán)alar涂層加工 |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：上海 |
| 最少起訂量：1件 | 發(fā)貨地：浦東新區(qū) | |
| 上架時(shí)間：2024-08-10 09:19:29 | 瀏覽量：83 | |
上海 雍昌環(huán)保科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：代加工服務(wù)類 | 主要客戶：各類金屬制品廠家、軸承制造商、機(jī)械零部件、醫(yī)療器械、軍工航天航空 | |
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【PTFE特氟龍,哈拉h(huán)alar,PFA氟樹脂涂層加工，可研磨的PFA涂層，半導(dǎo)體PFA涂層在CMP設(shè)備、閥門、密封件、檢測(cè)儀器，氣浮盤，chuck卡盤，CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工，200um涂層厚度，平面精度可控在2um±公差以內(nèi)，等應(yīng)用防腐耐酸，耐磨，防等離子氣，防金屬離子析出，經(jīng)過(guò)特殊的工藝處理，在惡劣的環(huán)境下使用，可延長(zhǎng)使用壽命，涂層不脫層，不起皮，可耐50%的濃酸】 涂層參數(shù) 厚度：100-300um 顏色：灰，黑，白 附著力：＞8Mpa 涂層硬度：3H 可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層是一種高性能復(fù)合涂層，結(jié)合了PTFE（聚四氟乙烯）和PFA（全氟烷氧基化合物）的優(yōu)點(diǎn)。這種涂層不僅具有傳統(tǒng)PTFE和PFA涂層的低摩擦、不粘性和耐化學(xué)性，還具備在需要時(shí)可以通過(guò)研磨達(dá)到精確形狀和表面光潔度的特性。以下是對(duì)可研磨的PTFE/PFA半導(dǎo)體涂層的介紹及其在特定設(shè)備和部件中的應(yīng)用。 可研磨的PTFE/PFA涂層介紹 1. 材料特性 可研磨的PTFE/PFA涂層由PTFE和PFA復(fù)合而成，具有低摩擦系數(shù)、優(yōu)異的不粘性和高耐化學(xué)性。這種復(fù)合涂層可以在涂覆后通過(guò)研磨處理，達(dá)到所需的表面光潔度和精確尺寸。 2. 涂層工藝 涂層通常通過(guò)噴涂、電泳或浸涂等方法進(jìn)行涂覆，之后在高溫下固化。固化后的涂層可以通過(guò)機(jī)械研磨或拋光處理，確保其表面光滑且符合高精度要求。 3. 耐高溫性能 PTFE/PFA涂層在高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定，能夠承受半導(dǎo)體制造過(guò)程中常見的高溫工藝步驟而不發(fā)生降解。 應(yīng)用設(shè)備及其部件 4.CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化）設(shè)備 CMP設(shè)備用于半導(dǎo)體晶圓的平坦化工藝，要求設(shè)備部件具有極高的表面光潔度和耐磨性。可研磨的PTFE/PFA涂層可用于CMP設(shè)備中的拋光墊、拋光頭和支撐環(huán)等部件。這些部件需要耐化學(xué)腐蝕、低摩擦和高耐磨性，以確保在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持穩(wěn)定和高效。 5. 閥門和密封件 半導(dǎo)體制造過(guò)程涉及多種腐蝕性化學(xué)品，閥門和密封件需要高耐化學(xué)性和低摩擦特性？裳心サ腜TFE/PFA涂層可應(yīng)用于各種閥門、密封圈和墊片，提供優(yōu)異的密封性能和耐久性，防止泄漏和磨損，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。 |
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