| 半導(dǎo)體良率卡在95%？納米級真空污染控制真空泵 |
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價格：128999 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
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東莞市飛粵真空科技有限公司
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半導(dǎo)體良率卡在95%？納米級真空污染控制真空泵
在半導(dǎo)體制造邁向3nm、2nm先進(jìn)制程的今天，晶圓良率仍是決定企業(yè)競爭力的核心指標(biāo)。然而，真空系統(tǒng)的微量油霧反流、微粒殘留、腐蝕氣體侵蝕等問題，導(dǎo)致工藝腔體污染、薄膜沉積不均、線路缺陷頻發(fā)，成為良率卡在95%的關(guān)鍵瓶頸。普旭（Busch）油式真空泵憑借**納米級潔凈控制技術(shù)與半導(dǎo)體級穩(wěn)定性設(shè)計，為全球頭部芯片廠商提供從光刻到封裝的全程真空保障，助力良率突破99%大關(guān)！ 普旭油式真空泵：半導(dǎo)體制造的“真空污染終結(jié)者” 1. 納米級潔凈度保障 - 零油霧反流技術(shù)：采用多層油霧分離系統(tǒng)（過濾效率＞99.999%），徹底消除潤滑油分子進(jìn)入工藝腔體的風(fēng)險，確保晶圓表面零污染。 - ISO 8573-1 Class 0認(rèn)證**：通過國際權(quán)威無油認(rèn)證，滿足EUV光刻、離子注入等超敏感環(huán)節(jié)的潔凈需求，從源頭杜絕微粒缺陷。 2. 超強耐腐蝕性能 - 特種合金+陶瓷涂層：泵體關(guān)鍵部件采用耐腐蝕合金與陶瓷復(fù)合涂層，可長期耐受Cl?、CF?、HBr等強腐蝕性氣體，設(shè)備壽命提升3倍以上。 - 智能氣體沖洗系統(tǒng)：自動清除蝕刻副產(chǎn)物殘留，避免泵內(nèi)結(jié)垢，減少30%維護(hù)停機時間。 3. 穩(wěn)定性控制 - 動態(tài)真空平衡技術(shù)：真空度波動范圍控制在±0.1%以內(nèi)，保障ALD（原子層沉積）、PVD（物理氣相沉積）工藝的納米級均勻性。 - 高溫持久運行：在150℃高溫環(huán)境下連續(xù)運行超10,000小時無衰減，適配7×24小時量產(chǎn)節(jié)奏。 普旭油式真空泵的半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用場景 ? 光刻工藝：為EUV光刻機提供無油真空環(huán)境，避免鏡頭污染導(dǎo)致的曝光精度下降。 ? 薄膜沉積：在ALD/PVD設(shè)備中維持超高真空穩(wěn)定性，確保3D NAND堆疊層厚度誤差＜0.1nm。 ? 蝕刻與清洗：抗腐蝕設(shè)計匹配干法蝕刻機，精準(zhǔn)控制刻蝕速率與側(cè)壁陡直度。 ? 先進(jìn)封裝：在TSV硅通孔、RDL重布線層工藝中實現(xiàn)微米級真空吸附定位，提升異構(gòu)集成良率。 性能優(yōu)勢：為何全球TOP10晶圓廠選擇普旭？ ?? 能效革命：自適應(yīng)變頻技術(shù)降低30%能耗，單臺年省電費超5萬美元。 ?? 智能物聯(lián)：搭載IoT傳感器實時監(jiān)測油溫、振動、真空度，預(yù)警準(zhǔn)確率達(dá)98%，實現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)。 ??模塊化設(shè)計：支持與真空閥門、尾氣處理裝置無縫集成，快速適配8/12英寸產(chǎn)線（推薦型號：COBRA NX系列）。 ?? 成本優(yōu)化：維護(hù)周期延長至8,000小時，綜合運維成本降低40%。 客戶見證： - 臺積電5nm產(chǎn)線：采用普旭COBRA NX系列后，因真空污染導(dǎo)致的晶圓報廢率下降0.8%，年增效益超1.2億美元。 - 三星3D NAND工廠：在堆疊工藝中實現(xiàn)真空系統(tǒng)零故障運行，產(chǎn)能爬坡速度提升25%。 - 中芯國際28nm項目：國產(chǎn)替代方案通過SEMI標(biāo)準(zhǔn)驗證，設(shè)備綜合效率（OEE）提升18%。
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