| 智能變頻+全干式設計：愛發(fā)科真空泵讓CVD工藝能耗直降30% |
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價格：23888 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時間：2025-04-10 09:45:13 | 瀏覽量：60 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶：全國 | |
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智能變頻+全干式設計：愛發(fā)科真空泵讓CVD工藝能耗直降30% CVD工藝的能耗痛點與行業(yè)轉型需求 化學氣相沉積（CVD）是半導體制造的核心工藝之一，但其真空系統(tǒng)能耗通常占整條產(chǎn)線總功耗的 20%-30%（數(shù)據(jù)來源：IEEE 2023）。隨著晶圓廠擴產(chǎn)與ESG要求升級，傳統(tǒng)油潤滑真空泵的高能耗、高維護成本成為瓶頸。愛發(fā)科通過 智能變頻技術與 全干式無油設計 的融合創(chuàng)新，助力客戶實現(xiàn) 能耗直降30% 的突破性目標。CVD工藝真空系統(tǒng)的三大能耗黑洞 1. 無效空載運行 傳統(tǒng)真空泵在工藝間隙（如腔體冷卻、晶圓更換）仍保持滿負荷運轉，造成 40%以上電能浪費。 2. 油潤滑系統(tǒng)損耗 油霧過濾器、潤滑油更換等維護消耗額外能源，單臺設備年維護成本超 1.8萬美元。 3.熱量管理負擔 油泵摩擦生熱需額外冷卻系統(tǒng)，間接增加 15%-20%綜合能耗。 愛發(fā)科雙技術協(xié)同：智能變頻+全干式設計 1. 智能變頻技術：按需供能，拒絕浪費 - 技術原理： 搭載AI算法芯片實時監(jiān)測腔體壓力、氣體流量及工藝階段，自動調(diào)節(jié)電機轉速（0-100%無級變速）。 - 沉積階段：滿負荷抽速（2000 L/s）確保反應氣體高效排出。 - 待機階段：轉速降至15%，功耗僅為滿載的 5%。 - 實測數(shù)據(jù)：
2. 全干式設計：徹底消滅“寄生能耗” - 無油潤滑系統(tǒng)：- 采用 陶瓷軸承+自潤滑涂層，摩擦系數(shù)降低至傳統(tǒng)油潤滑的 1/8。 - 消除油霧過濾器風阻損耗，減少 7% 額外功耗。 -耐高溫模塊化結構： - 泵體表面氮化硅涂層 耐受CVD工藝高溫（≤350℃），減少冷卻水用量 30%。 - 模塊化設計縮短維護時間，降低人工干預頻率（維護周期延長至 24個月）。 能效提升30%的客戶實證 案例：某8英寸功率半導體晶圓廠 - 原設備痛點： - 12臺傳統(tǒng)油泵年耗電 286萬度，占總電費24%。 - 每月需更換油霧過濾器，單臺年維護成本 2.2萬美元。 - 愛發(fā)科解決方案： - 替換為 iDRY系列智能變頻干式泵，配置AI能效管理平臺。 - 優(yōu)化真空系統(tǒng)啟停邏輯，與CVD設備PLC聯(lián)動控制。 -成果對比：
1. 0污染風險： 無油蒸氣反流，腔體碳氫化合物濃度 ＜0.1ppm，滿足高純度氮化硅/碳化硅沉積要求。 2. 靜音運行： 噪音≤62 dB(A)，符合ISO 4871無塵車間標準，改善工人操作環(huán)境。 3. 快速響應擴展： 支持300mm→450mm晶圓產(chǎn)線升級，抽速可擴展至5000 L/s。 行業(yè)前瞻：從節(jié)能到可持續(xù)制造 愛發(fā)科正推進 綠電兼容型真空泵 研發(fā)： - 氫能源驅動：適配晶圓廠綠氫供能系統(tǒng)，碳排放趨近于零。 -余熱回收模塊：將泵體廢熱轉換為純水預熱能源，綜合能效再提 8%-10%。 供應ULVAC愛發(fā)科系列真空泵： 1、VD油旋片式真空泵【雙極旋片真空泵】 VDN301 VDN401 VDN602 VDN902 2、GLD油旋片式真空泵【雙極旋片真空泵】 GLD-N051 GLD-N136 GLD-N201 GLD-N280 3、VS油旋片式真空泵系列【單級旋片真空泵】 VSN1501 VSN2401 VSN6501 VSN7501 4、PVD油旋片式真空泵【單級旋片真空泵】 PVD-N360 PVD-N360-1 PVD-N180 PVD-N180-1
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