| 適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵 |
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價格：6700 元(人民幣) | 產(chǎn)地：廣東東莞市 |
| 最少起訂量：1臺 | 發(fā)貨地：廣東東莞市 | |
| 上架時間：2025-04-11 10:21:16 | 瀏覽量：60 | |
東莞市飛粵真空科技有限公司
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| 經(jīng)營模式：經(jīng)銷商 | 公司類型：私營有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：真空泵 | 主要客戶：全國 | |
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適用中小型LED廠智能變頻控制愛發(fā)科油式旋片泵
應(yīng)用場景 - MOCVD（金屬有機化學(xué)氣相沉積）前級抽氣： 為分子泵或渦輪泵提供前級真空（10??~10?? Pa），快速建立反應(yīng)腔基礎(chǔ)真空環(huán)境，確保GaN、AlGaN等外延層的高質(zhì)量生長。 - LED封裝真空除泡： 在環(huán)氧樹脂/硅膠封裝工藝中，抽除氣泡（殘氧量＜0.5%），提升透光率與器件可靠性。 - 電極金屬化工藝： 輔助電子束蒸發(fā)或濺射鍍膜設(shè)備，維持低真空環(huán)境（10??~10?? Pa），確保金屬電極（如Al、Ag）均勻附著。 技術(shù)適配優(yōu)勢
與干式泵的對比及適用性
- 案例1：Mini LED封裝真空除泡** - 痛點：傳統(tǒng)泵殘氧量高（＞1%），導(dǎo)致封裝層氣泡缺陷率8%。 -方案：愛發(fā)科 **VDN-200油泵+油霧過濾模塊。 - 成果：殘氧量 0.3%，氣泡缺陷率降至 0.5%，年節(jié)省返工成本 50萬元。 - 案例2：藍寶石襯底清洗干燥 - 痛點：清洗后表面水氧殘留導(dǎo)致外延缺陷。 - 方案：真空干燥系統(tǒng)搭載 G-150D油泵（極限真空5×10?? Pa）。 - 成果：干燥時間縮短 40%，襯底表面潔凈度達 Sa≤0.2nm。 注意事項 - 油蒸氣管理**： 高精度外延生長環(huán)節(jié)需加裝低溫冷阱+活性炭吸附器，避免烴類污染。 -工藝氣體兼容性： 處理腐蝕性氣體（如Cl?）時，需選配 耐腐蝕涂層泵體。 - 定期維護： 每2000小時更換專用真空泵油（推薦ULVAC原廠ISO VG 100），防止油品劣化。 未來技術(shù)延伸 - 智能變頻控制： 根據(jù)MOCVD工藝氣體流量動態(tài)調(diào)節(jié)抽速，能耗再降 15%。 - 物聯(lián)網(wǎng)預(yù)警系統(tǒng)： 實時監(jiān)測油品狀態(tài)與泵體振動，故障率減少 50%。 愛發(fā)科油式旋片真空泵以 高性價比、快速響應(yīng)與靈活適配，成為LED制造中前級抽氣、封裝除泡等環(huán)節(jié)的可靠選擇。通過 油污染控制技術(shù)升級，其在非核心敏感工藝中可替代部分干式泵，顯著降低綜合成本，助力LED企業(yè)提升競爭力。 適用推薦：中小型LED廠、封裝代工廠、輔材加工線；慎用場景：高精度MOCVD外延生長主泵級真空需求。
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