| 高真空PECVD系統(tǒng) |
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價(jià)格： 元(人民幣) | 產(chǎn)地：本地 |
| 最少起訂量：1臺(tái) | 發(fā)貨地：本地至全國(guó) | |
| 上架時(shí)間：2020-09-10 13:16:02 | 瀏覽量：189 | |
鄭州諾泰科技有限公司
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| 經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)加工 | 公司類(lèi)型：私營(yíng)有限責(zé)任公司 | |
| 所屬行業(yè)：熱處理設(shè)備 | 主要客戶(hù)： | |
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產(chǎn)品概述： 高真空PECVD系統(tǒng)主要特點(diǎn)： 1.通過(guò)射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。 2.PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。 3.可以通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。 4.PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。 5.廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長(zhǎng)，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。 |
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