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半自動晶圓撕膜機STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓
半自動晶圓撕膜機STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓 價格:  元(人民幣) 產(chǎn)地:本地
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半自動晶圓撕膜機STK-5020是減薄后適用于 8”&12”晶圓



晶圓減薄后撕膜機STK-5020規(guī)格參數(shù):
晶圓尺寸:8”&12”晶圓;
厚度:150 ~750 微米;
晶圓種類:硅、砷化鎵;平邊或 V 型缺口晶圓;
撕膠膜種類:撕膜膠帶;
                   寬度:38~100 毫米;
                   長度:100 米;
撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可調(diào)節(jié);
撕膜溫度:室溫到 100 ℃范圍可調(diào),控溫精度+/-3℃;
晶圓臺盤:通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺盤;
                帶可控加熱功能,溫度MAX可達(dá) 100℃;
                臺盤帶吸真空功能;
裝卸方式:晶圓手動放置與取出;
防靜電控制:內(nèi)置防靜電離子發(fā)生器;
晶圓定位:彈簧銷釘定位;
控制單元:基于 PLC 控制,并配有 5.7”觸摸屏;
驅(qū)動單元:伺服馬達(dá)驅(qū)動;
安全保護(hù):配置緊急停機按鈕;
電源電壓:單相交流電 220V,6A; 
壓縮空氣:5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 80 升/分鐘;
機器外殼:白色噴塑金屬外殼;
機器指示:三色燈塔顯示機臺工作狀態(tài);
體積:660 毫米(寬)x1170 毫米(深)x870 毫米(含燈塔高); 
凈重:75 公斤;



晶圓減薄后撕膜機(半自動)性能:
晶圓收益:≥99.9%; 
撕膜質(zhì)量:無裂片;
每小時產(chǎn)能:≥ 80 片晶圓;
更換產(chǎn)品時間:≤ 5 分鐘;


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