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專(zhuān)業(yè)維修射頻電源服務(wù)范圍： 主要為太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)研發(fā)和維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源， 包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、CHILLER、 ENI，MKS，AE，ADECT，JINSAN，HUTTINGER，SEREN，ADL，COMDAL，VARIAN等等國(guó)內(nèi)外電源維修。 服務(wù)優(yōu)勢(shì)： 擁有一批專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才，進(jìn)口品牌射頻電源資深工程技術(shù)支持，消化吸收國(guó)外先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上創(chuàng)新發(fā)展，鍛煉培養(yǎng)十幾名經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師。擁有自主開(kāi)發(fā)的專(zhuān)業(yè)配套射頻電源測(cè)試平臺(tái)，高壓電源測(cè)試負(fù)載，直流電源測(cè)試負(fù)載，專(zhuān)用測(cè)試儀器設(shè)備，以及豐富的圖紙技術(shù)資料。 服務(wù)品牌： AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射頻電源， HiTek Power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流電源。 ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。 電源維修 專(zhuān)業(yè)維修半導(dǎo)體設(shè)備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、 射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專(zhuān)業(yè)設(shè)備維修。 Thermo Chiller維修 溫度控制泵浦，設(shè)備冷卻系統(tǒng)，品牌有SMC，小松、大金、申和等 一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源 1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源 2、MKS ENI射頻電源/直流電源 3、DAIHEN射頻電源 4、KYOSAN射頻電源/直流電源 5、COMDEL射頻電源 6、ADTEC射頻電源 7、SEREN射頻電源